近年來，隨著多晶硅價格的不斷下滑，多晶硅企業(yè)為了降低生產(chǎn)成本，必須對渣漿進(jìn)行處理，從中回收氯硅烷，廢料則進(jìn)行水解，以提高氯硅烷的回收率，減少漿料的水解量，從而降低廢氣排放量。根據(jù)多晶硅渣漿處理中的干燥水解法，在對真空耙式干燥機(jī)和閉路循環(huán)槳葉干燥機(jī)進(jìn)行對比的基礎(chǔ)上，利用后者對渣漿進(jìn)行干燥，以降低成本、減少污染、提高氯硅烷的回收率。

       干燥機(jī)是渣漿處理工序的核心設(shè)備，其安全可靠性決定了工序的運行穩(wěn)定性。渣漿處理工序中有兩種干燥方式: 間歇操作的真空耙式干燥機(jī)和連續(xù)操作的閉路循環(huán)槳葉干燥機(jī)。

真空耙式干燥機(jī) 工作原理
       耙式干燥機(jī)是一釜一釜的干燥，屬于間歇操作，過程不連續(xù)，約每90min就要重復(fù)進(jìn)行加料和卸料的過程，操作頻繁，導(dǎo)致工人勞動強(qiáng)度大;且渣漿中的揮發(fā)分屬于易燃易爆易腐蝕氣體，影響人身安全耙式干燥機(jī)是利用有限的容積先一次盛裝渣漿，再利用蒸汽間接加熱，使渣漿中的揮發(fā)分蒸發(fā)。由于耙式干燥機(jī)容積有限，因此處理量不能提高。就渣漿干燥來說，3條生產(chǎn)線需要6臺耙式干燥機(jī)。耙式干燥機(jī)的體積傳熱系數(shù)平均值約為2000～6000kcal/( h m ℃) ，氣固兩相接觸時間極短，干燥時間一般在 0.5～2.0s，^長5.0s，單批物料干燥時間約3～4h，初始熱效率在80%左右，而隨著漿料干燥時間的推進(jìn)干燥熱效率呈明顯下降趨勢。工業(yè)應(yīng)用中發(fā)現(xiàn)，渣漿一次性進(jìn)入干燥機(jī)會導(dǎo)致物料干燥在時間分布上極不均勻，干燥機(jī)內(nèi)部壓力波動，長時間運行時軸端密封存在隱患; 渣漿完全干燥后的氯硅烷蒸汽會夾帶大量粉塵，后續(xù)冷凝器的前部過濾器將頻繁堵塞，嚴(yán)重影響裝置的連續(xù)運行; 蒸發(fā)后的粉料一次性進(jìn)入后續(xù)水解罐會導(dǎo)致水解罐工作負(fù)荷驟然變大，且粉料進(jìn)入水解罐時罐內(nèi)水汽易竄入干燥機(jī)內(nèi)部。

       ^初引進(jìn)的渣漿處理工藝包中推薦的干燥機(jī)是耙式干燥機(jī)，其供貨商是國外廠商，每臺耙式干燥機(jī)的采購價格昂貴，訂貨周期較長，且存在備品備件采購不方便等因素，因此在一定程度上對生產(chǎn)裝置的連續(xù)穩(wěn)定運轉(zhuǎn)和經(jīng)濟(jì)效益產(chǎn)生制約。

閉路循環(huán)槳葉干燥機(jī) 工作原理
       多晶硅槳葉干燥機(jī)工作過程連續(xù)，工人勞動強(qiáng)度較低。就渣漿干燥來說，只需要進(jìn)行一次加料和卸料過程，操作簡單，安全系數(shù)較高。密閉型槳葉干燥機(jī)利用蒸汽間接加熱，在渣漿連續(xù)加入過程中使揮發(fā)分連續(xù)蒸發(fā)連續(xù)出料，提高了密閉型槳葉干燥機(jī)的容積利用率，使處理量提高就渣漿干燥來說，3條生產(chǎn)線需要3臺旋轉(zhuǎn)式間接干燥機(jī)即可，為操作方便，可備用1～2臺旋轉(zhuǎn)式間接干燥機(jī)的體積傳熱系數(shù)氣固兩相接觸和干燥時間與耙式干燥機(jī)幾乎相同， 連續(xù)性批量干燥時間一般約l0～15min，熱效率穩(wěn)定在80%左右。
      閉路循環(huán)槳葉干燥機(jī)將物料均勻地分散至單位時間上，物料進(jìn)入干燥機(jī)的速率均勻，單位時間進(jìn)料量較小，干燥機(jī)各項運行參數(shù)均較為平穩(wěn); 干燥機(jī)干燥后的產(chǎn)品形態(tài)為膏狀物，蒸發(fā)出的為純凈氯硅烷蒸汽，冷凝器前部過濾器堵塞幾率大幅下降; 蒸發(fā)后的膏狀物通過螺桿泵連續(xù)、均勻地輸送至后續(xù)水解罐，因干燥后的物料體積和重量顯著降低，分散至單位時間上的物料就更少，因此水解罐工作極為平穩(wěn)， 螺桿泵密封性較好水解罐內(nèi)水汽無法竄入干燥機(jī)內(nèi)部。
    通過上述比較，在渣漿處理工序設(shè)計中宜選擇連續(xù)運行的閉路循環(huán)槳葉干燥機(jī)。

多晶硅渣漿槳葉干燥機(jī) 設(shè)備結(jié)構(gòu)
       多晶硅渣漿槳葉干燥機(jī)殼體由設(shè)備內(nèi)壁和外夾套組成，其中夾套設(shè)計成蜂窩狀，即在夾套壁面上有規(guī)律地沖出許多翻邊向里的凹形圓孔，翻邊與內(nèi)壁焊接，以增加強(qiáng)度干燥機(jī)殼體設(shè)計為整體結(jié)構(gòu)，在頂部設(shè)有人孔和視鏡，既方便觀察和維修，又避免了由于普通槳葉狹長密封面的泄漏而造成的氧化反應(yīng)，頂部穹頂結(jié)構(gòu)設(shè)計加強(qiáng)了設(shè)備整體強(qiáng)度。
    空心熱軸和空心葉片結(jié)構(gòu)是渣漿旋轉(zhuǎn)式間接干燥機(jī)的關(guān)鍵部件。多晶硅渣漿槳葉干燥機(jī)有兩根空心熱軸，兩軸旋轉(zhuǎn)方向相反，均向著設(shè)備中心線方向，借助葉片上的輔助抄料板， 把物料從中心推向壁面，又從壁面將物料向上提升，越過空心熱軸，擠到設(shè)備中央。針對磨琢性比較強(qiáng)的物料，葉片內(nèi)不通入蒸汽，而需要設(shè)置耐磨附件。

       多晶硅渣漿槳葉干燥機(jī)是間接加熱連續(xù)型干燥機(jī)，連續(xù)進(jìn)料流量小、停留時間短、傳熱效率高、投資低，適用于粘附性較強(qiáng)的膏狀、糊狀或團(tuán)狀物料以及易氧化分解 易燃易爆物質(zhì)的干燥。多晶硅渣漿槳葉干燥機(jī)能有效控制干燥介質(zhì)和傳熱介質(zhì)的消耗量，提高氯硅烷的回收率，同時減少環(huán)境污染，在一定程度上滿足了多晶硅企業(yè)渣漿處理的要求。